GRAUCHBeschichtungsanlagen
Was ist vor dem Prozess noch in der Kammer?
Restgase vor dem Einlassen der Prozessgase betrachten. Zustände vergleichen und Veränderungen gezielter untersuchen.
Die nächste Generation der Vakuummessung
Vakuum
verstehen.
Wir entwickeln TOF300: Druck und Gaszusammensetzung in einem kompakten Gerät. Für einen neuen Blick auf das, was in Ihrer Kammer geschieht.
Für Anlagenbau, Industrie und Forschung.
TOF300 · Produktvision
01 / Der UnterschiedEin Prozess. Drei Einblicke.
Die drei Einblicke stammen aus realen Messungen. Mit unserem funktionsfähigen Demonstrator haben wir die Gaszusammensetzung beim Abpumpen, am Enddruck und beim Einlassen von Prozessgasen verfolgt.
Zum Entwicklungsstand02 / Gase sichtbar machenInteraktive Erklärung
Was passiert gerade
in meiner Kammer?
Abpumpen, eine Dichtung prüfen, die Sauberkeit einschätzen: Drei Beispiele zeigen, was zusätzliche Gasinformationen im Alltag bedeuten können.
Vereinfachter Ablauf · keine Messdaten
Abpumpen / Beschichtungsanlage
Wie entwickelt sich das Restgas?
AbpumpenWasser verfolgenRestgas beurteilen
Massenspektrum · relativIm Fokus: Wasser
Einzelne GassignaleHöherer Balken = stärkeres Signal
Parallel dazu
Druckverlaufrelativ
Die Zusammensetzung verändert sich mit.
Die Kammer wird abgepumpt.
Die Pumpe entfernt Gas. Der hervorgehobene Balken zeigt Wasser im Restgas; sein Signal ist anfangs stark.
Was bedeutet die Zuordnung der Signale?
Die horizontale Achse zeigt das Masse-zu-Ladung-Verhältnis (m/z), die Höhe die relative Signalstärke. Die Zuordnungen sind vereinfacht: Verschiedene Gase können sich überlagern, Moleküle können Fragmente bilden. Das Signal bei m/z 28 kann beispielsweise von Stickstoff oder Kohlenmonoxid stammen. Einzelne Spitzen belegen deshalb nicht automatisch einen bestimmten Stoff oder eine Leckage. Der Druckverlauf hat eine eigene relative Skala; aus den gezeigten Signalhöhen lassen sich keine Konzentrationen ablesen.
03 / TOF300Unsere Produktvision
Gehäuse und Anzeige sind Konzeptdarstellungen.
Mehr Einblick. Weniger Hürden.
So selbstverständlich
wie Druck messen.
Wir möchten Gasinformationen dorthin bringen, wo sie gebraucht werden: direkt an die Kammer und in den Arbeitsalltag.
- 01
Enddruck messen. Restgas verstehen.
Den Gesamtdruck beim Abpumpen verfolgen, den Enddruck bestimmen und zusätzlich sehen, welche Gase vorhanden sind: Das soll TOF300 in einem Gerät verbinden.
- 02
Information verständlich machen
Aus Spektren sollen übersichtliche Verläufe und Hinweise für die jeweilige Anwendung werden.
- 03
Für den regelmäßigen Einsatz entwickeln
Kompakte Sensorik, Elektronik und Software als zusammenhängendes Gerät. Mit einfacher Bedienung als Entwicklungsziel.
Was wir technisch anstreben.
Entwicklungsziele- Gesamtdruckmessung
- bis 10−10 mbar
- Den Druckverlauf bis zum erreichten Enddruck messen.
- Massenbereich
- 1–300 amu
- Leichte Gase wie Wasserstoff bis hin zu schweren Bestandteilen wie Ölen.
- Messzeit
- ca. 10 ms
- Kurze Messzyklen, um Veränderungen zu verfolgen und schnell zu reagieren.
- Arbeitsdruck der Gasanalyse
- bis 10−2 mbar
- Angestrebte obere Druckgrenze für Gasinformationen.
Planungswerte, keine zugesicherten Spezifikationen. Messbedingungen und Leistungsdaten werden im Verlauf der Entwicklung validiert.
Unser StandVon der Erkenntnis
Von der Erkenntnis
zum Alltagsinstrument.
Heute
Ein funktionsfähiger Demonstrator. Erste Erprobung an einer Beschichtungsanlage.
Woran wir arbeiten
Eine robuste, integrierte Messlösung. Kalibrierung, Bedienung und Erprobung für den künftigen Einsatz.
04 / TOFX-TechnologieDas Prinzip dahinter
Gase hinterlassen
eine messbare Spur.
Unsere Technologie nutzt Flugzeit-Massenspektrometrie. Sie trennt Gassignale nach dem Masse-zu-Ladung-Verhältnis – und eröffnet damit eine zusätzliche Perspektive auf das Vakuum.
Vom Gas zum Signal
Flugzeit-Messprinzip · schematischBeispiel-Ionen · gleiche Ladungm/z 18m/z 28m/z 44m/z 78
01 / Ionisation
Gas wird ionisiert.
Elektronen ionisieren Gasmoleküle. Die positiv geladenen Ionen lassen sich mit elektrischen Feldern bewegen.
Tempo der Erklärung
TOFX
Flugzeit-Massenspektrometrie im Detail
Auf dieser Grundlage entwickeln wir unsere kompakte Messarchitektur. Die Technologie ist zum Patent angemeldet.
Spektrum erkunden05 / Neue MöglichkeitenAnlagenbau · Industrie · Forschung
Für alle, die wissen wollen,
was in ihrer Kammer passiert.
Wo Vakuum zum Alltag gehört, kann die Gaszusammensetzung zusätzliche Zusammenhänge sichtbar machen. Diese Einsatzfelder treiben unsere Entwicklung an.
Anlagen- und
Komponentenbau
Was verrät der Test einer Kammer?
Neben dem Enddruck könnten auffällige Gasanteile Hinweise auf Undichtigkeiten oder Verunreinigungen geben – als Ausgangspunkt für weitere Prüfungen.
Forschung und
Entwicklung
Welche Bedingungen begleiten das Experiment?
Vom einzelnen Vakuumaufbau bis zum Institut: Gasinformationen sollen helfen, Versuchsbedingungen besser einzuordnen.
Space und
New Space
Was geben Materialien im Vakuum ab?
In Thermal-Vakuum-Tests die Gaszusammensetzung verfolgen: für zusätzliche Einblicke in Ausgasung und Sauberkeit von Kammer und Prüfling.
Halbleiter
Was bleibt zwischen zwei Prozessschritten?
Restgase und Veränderungen nach Belüftung, Wartung oder Prozesswechsel betrachten. Für ein besseres Verständnis der Bedingungen in der Kammer.
Die Anforderungen unterscheiden sich von Anlage zu Anlage. Die Eignung von TOF300 wird für den jeweiligen Einsatz erprobt.
Anwendungen der Gasanalyse im Detail06 / GRAUCH aus JenaDas Team
Eine gemeinsame Vorstellung.
Die Erfahrung, sie zu entwickeln.
Wir verbinden Physik, Elektronik und Sensorik. Uns treibt die Frage an, wie aus zusätzlichen Messinformationen ein besseres Verständnis von Vakuum wird.
Mihail Granovskij
Physik & Strategie
Mitgründer
Sergej Uchatsch
Elektronik & Embedded-Systeme
Mitgründer
Philipp Schröter
Sensorik & Systemintegration
MitgründerDie nächste Generation entsteht gemeinsam.
Neue Einsichten.
Neue Möglichkeiten.
Sie möchten diese Vision als strategischer Partner oder Investor mitgestalten? Lassen Sie uns darüber sprechen, wie Gasinformationen im Vakuumalltag selbstverständlich werden können.
Ins Gespräch kommen